东芝工业用磁控管
东芝磁控管应用:
•微波加热与干燥、化学气相沉积(CVD)设备(人工培育钻石)、刻蚀设备,
•半导体设备、制氢、溅射设备、橡胶硫化等领域。
输出功率kW | 型号 | 频率 | 冷却 | 重量 | 灯丝电压 | 灯丝电流 | 平均阳极电流 | 阳极峰值电压(kV) | 外形尺寸(约值) |
0.3 | E303 | 2450~2470 | FA | 1.0 | 3.3 | 10.5 | 100 | 3.55 | 128×95×130.5 |
0.8 | E5508A | 2450~2470 | FA | 0.9 | 3.3 | 10.5 | 300 | 4.00 | 128×95×129.5 |
E5508W | 2450~2470 | WA | 1.2 | 3.3 | 10.5 | 300 | 4.00 | 128×96×129.5 | |
1 | E5510A | 2450~2470 | FA | 0.9 | 3.15 | 10.0 | 330 | 4.35 | 128×95×130.5 |
E5510W | 2450~2470 | WA | 1.2 | 3.15 | 10.0 | 330 | 4.35 | 128×96×130.5 | |
1.2 | E5512A | 2450~2470 | FA | 1.0 | 3.15 | 10.0 | 370 | 4.55 | 128×95×130.5 |
E5512W | 2450~2470 | WA | 1.2 | 3.15 | 10.0 | 370 | 4.55 | 128×96×130.5 | |
1.3 | E5513A | 2450~2470 | FA | 1.0 | 3.0 | 9.5 | 390 | 4.65 | 128×95×130.5 |
E5513W | 2450~2470 | WA | 1.2 | 3.0 | 9.5 | 390 | 4.65 | 128×96×130.5 | |
1.5 | E5515A | 2450~2470 | FA | 1.0 | 2.9 | 9.5 | 450 | 4.65 | 128×95×130.5 |
E5515W | 2450~2470 | WA | 1.2 | 2.9 | 9.5 | 450 | 4.65 | 128×96×130.5 | |
3 | E6630 | 2450~2470 | WA | 2.5 | EF=4.6V(预热) | 19.0 | 950 | 4.70 | 145×135×170 |
6 | E3327 | 2450~2470 | WA** | 4.3 | EF=5.0V(预热) | 33.0 | 1150 | 7.2 | 153×120×160 |
E3327L | 2450~2470 | WA** | 3.1 | EF=5.0V(预热) | 33.0 | 1150 | 7.2 | 150×120×160 | |
| 12 | E2712 | 2450~2470 | WA** | 3.2 | EF=5.0V(预热) EF=0V(Ib=2000mAdc) | 33.0 | 2000 | 7.5 | 150×120×176 |