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工业用磁控管系列

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工业用磁控管系列

东芝工业用磁控管

东芝磁控管应用:

•微波加热与干燥、化学气相沉积(CVD)设备(人工培育钻石)、刻蚀设备,

•半导体设备、制氢、溅射设备、橡胶硫化等领域。

输出功率kW

型号

频率
MHZ

冷却
方式

重量
kg

灯丝电压
V

灯丝电流
A

平均阳极电流
mA

阳极峰值电压(kV

外形尺寸(约值)
L×W×H(mm

0.3

E303

2450~2470

FA

1.0

3.3

10.5

100

3.55

128×95×130.5

0.8

E5508A

2450~2470

FA

0.9

3.3

10.5

300

4.00

128×95×129.5

E5508W

2450~2470

WA

1.2

3.3

10.5

300

4.00

128×96×129.5

1

E5510A

2450~2470

FA

0.9

3.15

10.0

330

4.35

128×95×130.5

E5510W

2450~2470

WA

1.2

3.15

10.0

330

4.35

128×96×130.5

1.2

E5512A

2450~2470

FA

1.0

3.15

10.0

370

4.55

128×95×130.5

E5512W

2450~2470

WA

1.2

3.15

10.0

370

4.55

128×96×130.5

1.3

E5513A

2450~2470

FA

1.0

3.0

9.5

390

4.65

128×95×130.5

E5513W

2450~2470

WA

1.2

3.0

9.5

390

4.65

128×96×130.5

1.5

E5515A

2450~2470

FA

1.0

2.9

9.5

450

4.65

128×95×130.5

E5515W

2450~2470

WA

1.2

2.9

9.5

450

4.65

128×96×130.5

3

E6630

2450~2470

WA

2.5

EF=4.6V(预热)
EF=2.2V
(工作)

19.0

950

4.70

145×135×170

6

E3327

2450~2470

WA**

4.3

EF=5.0V(预热)
EF=0V
Ib=1150mAdc

33.0

1150

7.2

153×120×160

E3327L

2450~2470

WA**

3.1

EF=5.0V(预热)
EF=0V
Ib=1150mAdc

33.0

1150

7.2

150×120×160

12E27122450~2470WA**3.2EF=5.0V(预热)
EF=0V
Ib=2000mAdc
33.020007.5150×120×176


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